• モニタリング
• カメラ
• マシンビジョン
• 光学検査

ゲノム解析における信頼性の向上

• 平行度
• 金属

金型などの平行度確認

• 変位計
• ステージ
• 姿勢
• 位置決め

精密ステージのピッチング、ヨーイング、ローリング、鉛直変位

• 平行度
• 光学部品
• カメラ
• 変位計
• カメラモジュール
• 姿勢
• 位置決め

レンズ圧入工程における圧入ヘッドとバレル保持部の平行度管理

• 光軸
• 平行度
• 光学部品
• カメラ
• 光学検査

鏡筒の上下面の平行度測定

• モニタリング
• 変位計
• 搬送
• 姿勢
• 位置決め
• 光学検査
• ウェーハハンドラー
• ロボット

ロボットアームの残留振動検出

• 金属

自動車におけるホイールアライメントの角度測定

• 搬送
• 位置決め

精密ステージのピッチング、ヨーイング評価

• 金属

粗面の精密角度測定

• 半導体ウェーハ
• ウェーハハンドラー

ウェーハハンドラーのスライダー部非接触経年劣化監視

• 半導体ウェーハ
• バキュームノズル

バキュームノズルでのピックアップ品非接触姿勢監視

• 半導体ウェーハ
• ロールオフ

半導体ウェーハ周辺部のダレ（ロールオフ）非接触測定