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解決事例

半導体ウェーハ周辺部のダレ（ロールオフ）非接触測定

半導体ウェーハ周辺部のダレ（ロールオフ）非接触測定
半導体ウェーハ周辺部のダレ（ロールオフ）非接触測定

・課題

半導体ウェーハ周辺部のダレ（ロールオフ）のばらつきを、非接触で評価したい。

・解決

チルトセンサで、半導体ウェーハ先端部の角度を非接触で測定することで、ウェーハ先端部のダレ（ロールオフ）の測定が可能。歩留まりの向上と生産性UPに繋がります。

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