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解決事例

スピンコータ時の半導体ウェーハの傾きとブレ非接触測定

スピンコータ時の半導体ウェーハの傾きとブレ非接触測定
スピンコータ時の半導体ウェーハの傾きとブレ非接触測定

・課題

スピンコータの工程において半導体ウェーハの状態（高速回転時の傾き）を簡単に非接触で測定できないか?

・解決

チルトセンサを使用し、角度を測定することでスピンコータの工程で、半導体ウェーハの傾きと、高速回転時のブレを簡単に非接触で、チェックできます。また、レジスト液の塗布工程の歩留まりも向上します。

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