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解決事例

遠距離からの半導体ウェーハ、ハンドラ、キャリアの姿勢非接触監視

遠距離からの半導体ウェーハ、ハンドラー、キャリアの姿勢非接触監視
遠距離からの半導体ウェーハ、ハンドラー、キャリアの姿勢非接触監視

・課題

・装置の大型化や、装置の動く範囲が大きくなると、各種測定が必要であっても、ワーキングディスタンスの条件などで、測定可能な測定器がない。何とかできないか?

・解決

大型の装置などを測定するときは、遠く離れた場所からでも、高精度・高速に傾斜測定ができるチルトセンサが有効。　変位計では達成できない高精度な測定が可能。メンテナンスコストの削減にも繋がります。

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