半導体ウェーハ投影（露光）レンズブロックの光軸調整 半導体 フォトマスク レンズ 光軸 半導体露光装置 ・課題 ウェーハ露光装置の、投影レンズブロックをばらつきなく構築する方法はないか? ・解決 チルトセンサを使えば投影レンズブロックの光軸出し、フォトマスク、レンズの傾き測定が非接触で可能です。これによりタクトタイムの削減、ばらつきの改善に繋がります。
