変位チルトセンサとは

変位チルトセンサは、オートコリメータ方式、三角測量方式を組み合わせた非接触3軸同時測定可能な測定機。（特許第5330114号技術を使用）

5次元センサと同様に全反射するミラー（ミラーターゲット）で実現している。接触式３次元測定器とは違い、レーザで非接触リアルタイム測定を行う対象物に触れられない微小物、高速移動体計測に最適。

オートコリメータ方式とは

コリメータという装置は、平行光（直線状にまっすぐ進む光）を人工的に作り出すもの装置の仕組みは、光源から出る光をレンズを通し平行光になるよう光を屈折射出する。この仕組みを使い、中に光を発する機械を「オートコリメータ」と呼称。つまりは自動でまっすぐ進む光を出す装置のことを指す。

変位チルトセンサは平行光を搭載。
変位チルトセンサから射出された平行光はミラーターゲットに入射、そして反射。反射光は変位チルトセンサのチルト測定部の光学系に入射。チルト測定部はレンズが搭載されている。

反射光はレンズで集光される。集光された平行光はポジションセンサ上で結像。スポットとなる。

このスポットはレンズへの入射角度変化により位置が変化する。この位置変化を検出し角度を非接触測定をしている。　つまり平行光を使い反射した光をレンズで集光させ、スポット位置を角度換算する手法をオートコリメータ方式と呼んでいる。

三角測量方式とは

変位チルトセンサの高さ測定は三角測量方式で実現している。
変位チルトセンサはターゲットミラーに対して斜めに照射するようレーザが設置されている。斜め方向に照射した光はターゲットミラーに反射し、センサーに入射する。反射光はターゲットの高さ変化と共に高さ（位置）が変化する。高さの測定は反射光の高さをポジションセンサで検出し非接触で測定を実現している。

三角測量方式は多くのレーザ変位計で使用されている基本的な技術。