高速5次元センサとは

高速5次元センサは、オートコリメータ方式、三角測量方式、光学観察方式を組み合わせた非接触5軸同時測定可能な測定機。（特許第5330114号技術を応用）

当社製６次元センサと違い専用ターゲットは必要ない。変位チルトセンサと同様全反射するミラー（ミラーターゲット）で測定実現している。接触式３次元測定器とは違い、レーザで非接触リアルタイム測定を行う。対象物に触れられない微小物、高速移動体計測に最適。

オートコリメータ方式とは

コリメータという装置は、平行光（直線状にまっすぐ進む光）を人工的に作り出すもの。装置の仕組みは、光源から出る光をレンズを通し平行光になるよう光を屈折射出する。

この仕組みを使い、中に光を発する機械を「オートコリメータ」と呼称 つまりは自動でまっすぐ進む光を出す装置のことを指す。

5次元センサはこの平行光を搭載。5次元センサから射出された平行光はターゲットミラーに入射、そして反射。反射光は5次元センサのチルト測定部の光学系に入射　チルト測定部はレンズが搭載されている。反射光はレンズにより集光される。集光された平行光はポジションセンサ上で結像、スポットとなる。このスポットはレンズへの入射角度変化により位置が変化する。

この位置変化を検出し角度を非接触測定している　つまり平行光を使い反射した光をレンズで集光させ、スポット位置を角度換算する手法をオートコリメータ方式と呼んでいる。

三角測量方式とは

5次元センサの高さ測定は三角測量方式で実現している。5次元センサはターゲットミラーに対して斜めに照射するようレーザが設置されている。斜め方向に照射した光はターゲットミラーに反射し、センサー入射する。

反射光はターゲットの高さ変化と共に高さ（位置）も変化する。高さの測定は反射光の高さをポジションセンサで検出し非接触で測定を実現している。三角測量方式は多くのレーザ変位計で使用されている測定技術。

光学観察方式とは位置測定に使用している技術。

5次元センサに搭載されている位置測定はセンサーから射出されたレーザに対し垂直な面のX,Y方向座標位置を指す。　5次元センサのレーザ光はあるサイズの光束をもつ。ミラーターゲットはレーザを反射する。ミラーターゲットがX,Y方向に動くと、反射光の位置も動く。

5次元センサの位置測定はこの反射光をポジションセンサで検出し非接触で測定を実現している。