SOLUTIONS

解決事例

半導体

2台のオートコリメータを使い測定物の平行度を測定

2台のオートコリメータを使い測定物の平行度を測定
半導体 光学部品平行度
2台のオートコリメータを使い測定物の直角度を測定

2台のオートコリメータを使い測定物の直角度を測定
半導体 光学部品直角度
ダイコレットと基準面の平行度確認

ダイコレットと基準面の平行度確認
半導体 半導体チップ平行度
半導体ウェーハ投影（露光）レンズブロックの光軸調整

半導体ウェーハ投影（露光）レンズブロックの光軸調整
半導体 フォトマスクレンズ光軸半導体露光装置
エリプソメータの測定対象物非接触角度確認

エリプソメータの測定対象物非接触角度確認
半導体 エリプソメータ半導体ウェーハ組込
遠距離からの半導体ウェーハ、ハンドラ、キャリアの姿勢非接触監視

遠距離からの半導体ウェーハ、ハンドラ、キャリアの姿勢非接触監視
半導体 ウェーハハンドラ半導体ウェーハ
切断、研磨後の半導体ウェーハの形状（反り）非接触測定

切断、研磨後の半導体ウェーハの形状（反り）非接触測定
半導体 半導体ウェーハ反り
スピンコータ時の半導体ウェーハの傾きとブレ非接触測定

スピンコータ時の半導体ウェーハの傾きとブレ非接触測定
半導体 スピンコータ半導体ウェーハ
恒温槽、真空チャンバ内の半導体ウェーハ非接触反り測定

恒温槽、真空チャンバ内の半導体ウェーハ非接触反り測定
半導体 半導体ウェーハ反り