SOLUTIONS

解決事例

半導体ウェーハ

エリプソメータの測定対象物非接触角度確認

エリプソメータの測定対象物非接触角度確認
半導体 エリプソメータ半導体ウェーハ組込
遠距離からの半導体ウェーハ、ハンドラ、キャリアの姿勢非接触監視

遠距離からの半導体ウェーハ、ハンドラ、キャリアの姿勢非接触監視
半導体 ウェーハハンドラ半導体ウェーハ
切断、研磨後の半導体ウェーハの形状（反り）非接触測定

切断、研磨後の半導体ウェーハの形状（反り）非接触測定
半導体 半導体ウェーハ反り
スピンコータ時の半導体ウェーハの傾きとブレ非接触測定

スピンコータ時の半導体ウェーハの傾きとブレ非接触測定
半導体 スピンコータ半導体ウェーハ
恒温槽、真空チャンバ内の半導体ウェーハ非接触反り測定

恒温槽、真空チャンバ内の半導体ウェーハ非接触反り測定
半導体 半導体ウェーハ反り
半導体ウェーハ周辺部のダレ（ロールオフ）非接触測定

半導体ウェーハ周辺部のダレ（ロールオフ）非接触測定
半導体 ロールオフ半導体ウェーハ
バキュームノズルでのピックアップ品非接触姿勢監視

バキュームノズルでのピックアップ品非接触姿勢監視
半導体 バキュームノズル半導体ウェーハ
ウェーハハンドラのスライダ部非接触経年劣化監視

ウェーハハンドラのスライダ部非接触経年劣化監視
半導体 ウェーハハンドラ半導体ウェーハ