SOLUTIONS

解決事例

MEMSミラー傾き動作時の角度評価

MEMSミラー傾き動作時の角度評価
MEMSミラー傾き動作時の角度評価

・課題

1mm程度のMEMSミラーなど、傾くミラーを非接触で簡単に測定する方法はないか?

・解決

広角度のチルトセンサや複数台のチルトセンサを用いて、原点と両端の角度を測定。光学部品の傾斜の可動域、非可動軸のブレ、停止時の再現性の測定が可能。非接触での測定のため対象物への負荷もなく測定が可能。チルトセンサは対象物の大きさに関係なく精密な角度測定が可能。

関連製品