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解決事例

ウェーハハンドラのスライダ部非接触経年劣化監視

ウェーハハンドラのスライダ部非接触経年劣化監視
ウェーハハンドラのスライダ部非接触経年劣化監視

１.課題

・ウェーハハンドラースライダーの経年劣化を管理したい。

2.解決

・ウェーハハンドラー稼働時に、チルトセンサで各部の傾斜を測定。装置をヘルスモニタリングすることで、装置の変化が一目瞭然。歩留まりの改善が可能。

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