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解決事例

恒温槽、真空チャンバ内の半導体ウェーハ非接触反り測定

恒温槽、真空チャンバ内の半導体ウェーハ非接触反り測定
恒温槽、真空チャンバ内の半導体ウェーハ非接触反り測定

・課題

恒温槽、真空チャンバ内のようにガラス等で密閉されている中で、半導体ウェーハなどの反りの品質を確認したい。装置改造ができないので、どう測定すればよいか困っている。

・解決

恒温槽、真空チャンバ内の半導体ウェーハの反りを、チャンバの窓越しにチルトセンサで非接触で測定。面倒な装置改造やセンサのセットアップ工数もなく測定可能。

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