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解決事例

エリプソメータの測定対象物非接触角度確認

エリプソメータの測定対象物非接触角度確認
エリプソメータの測定対象物非接触角度確認

・課題

エリプソメータにおける測定対象物の測定精度、姿勢のばらつきを管理する簡単な方法はないか?

・解決

エリプソメータにチルトセンサを組み込むことで、対象物の角度を正確に測定。姿勢を数値で管理。これにより測定のばらつきを低減し、歩留まりの改善が可能。

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