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解決事例

2台のオートコリメータを使い測定物の平行度を測定

2台のオートコリメータを使い測定物の平行度を測定
2台のオートコリメータを使い測定物の平行度を測定

・課題

シリコンフォトニクスなどの半導体デバイスは平行度が重要な要素。平行度を簡単に測定する方法はないか?

・解決

2台のチルトセンサと平行度のマスタを使うことで簡単に平行度を非接触で測定することが可能。高輝度なLD、高感度な受光部を搭載しているチルトセンサは、小さく反射率が低い対象物も測定可能。これにより数値管理が可能になり、タクトタイム、メンテナンス費用の削減が期待できます。

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