レーザを2方向に分岐して直角度の測定

・課題

シリコンフォトニクスなどの半導体デバイスは直角度が重要。直角度を簡単に速く測定する方法はないか?

・解決

2台のチルトセンサと、直角度のマスタを使うことで簡単に直角度を測定するこが可能。高輝度なLD、高感度な受光部を搭載しているチルトセンサは、小さく反射率が低い対象物も測定可能。これにより非接触での測定が
可能になり、タクトタイムの削減が期待できます。