開発の背景
スマートフォンカメラのOISレンズアクチュエータを1台で測定できないか？そんなお客様のご要望から開発いたしました。
従来はX, Y, Zをそれぞれレーザ変位計3台で、傾斜をオートコリメータ1台で測定する方式でしたが、この方式では4台分の設置スペースが必要、センサ間の位置合わせが必要、管理が必要など問題がありました。そこで当社はオートコリメータ法（傾斜）、三角測量法（高さ）に加え、ビジョンセンサ（ポジション）を組み合わせた製品を開発することでこの問題を解決いたしました。
特長
1. 三角測量技術、位置測定技術、角度測定技術を1台のセンサに
2. 優れた繰り返し精度と高い精度のリニアリティ
3. 高い作業性を持つ幅広いワーキングディスタンス
製品情報
| 項目 | 高速5次元センサ | |||||
| 型式 | MF-5550-0002 | MF-5570-0002 | ||||
| 測定対象物 | φ2.9mm光学平面（ターゲットミラーFH-2304※1） | |||||
| ワーキングディスタンス | 80±0.5mm | |||||
| 測定項目 | チルト（θX, θY） | 変位（Z） | 位置（X, Y） | チルト（θX, θY） | 変位（Z） | 位置（X, Y） |
| 測定範囲 | ±60分※2 | ±1mm | ±0.5mm | ±60分※2 | ±1mm | ±0.7mm |
| 光源 波長 / ビーム径 |
658±10nm / φ0.3mm（変位,チルト） 658±10nm / φ5mm（位置） |
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| サンプリング | 10,000回/秒 | |||||
| 外形寸法（突起部除く） | W185 D220 H56mm | |||||
※1. ターゲットミラーからの反射光のみセンサに受光させる為、ターゲットミラー周辺φ7mmの範囲からの反射が無いこと。FH-2304（反射率80%以上、サイズφ2.9mm、厚み0.3mm±0.05mm、平行度30秒以内）
※2. 円形範囲
製品資料
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