開発の背景
オートコリメータ方式の傾斜測定に加え、変位測定を同時にできないか？そんなお客様のご要望から開発した変位チルトセンサ。
この製品をセンサヘッドとプロセッサユニットを一体化、さらに軽量小型化することで装置への組み込みを簡単にした使いやすい製品を開発いたしました。
特長
1. 三角測量とオートコリメータの測定方式を一つに
2. センサとプロセッサ一体型さらに高速測定（1K データ/s）
3. 変位と傾斜の同時測定【特許第5330114号】
製品情報
| 項目 | 一体型変位チルトセンサ | ||||
| 型式 | SH-3100 | SH-3200 | |||
| 測定対象物 | 光学平面（反射率80%以上推奨） | ||||
| ワーキングディスタンス | 50±0.5mm | ||||
| 測定項目 | チルト（ΘX,ΘY） | 変位（Z） | チルト（ΘX,ΘY） | 変位（Z） | |
| 測定範囲 | ±60分※1 | ±1.5mm | ±90分※1 | ±5mm | |
| Repeatability※2 | 0.009分 | 0.15μm | 0.009分 | 0.5μm | |
| Linearity※3 | ±0.2% of F.S. （±0.24分相当） |
±0.075% of F.S. （±2.25μm相当） |
±0.2% of F.S. （±0.36分相当） |
±0.1% of F.S. （±10μm相当） |
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| 光源
波長 / ビーム径 |
660±10nm / φ0.2mm以下 | ||||
| 出力更新レート | 1,000回/秒 | ||||
| 外形寸法（突起部除く） | W100 D80 H35mm | ||||
※1. 円形範囲
※2. 弊社標準サンプルをW.D.位置に設置し、静止状態で測定した値の幅6σ。測定条件： 平均回数16回
※3. 弊社標準サンプル測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。
