開発の背景
複数台の測定器を使用していると、センサヘッドとプロセッサユニットの管理が煩雑、一体化した測定器ができないか？そんなお客様のご要望から開発いたしました。ご要望の多い測定範囲、ワーキングディスタンスの仕様を基に、プロセッサを一体化、測定スピードも高速。装置に組み込み可能な小型サイズで開発いたしました。
特長
1. センサとプロセッサ、一体型
2. 小型、装置や治具組み込みが可能
3. 高速測定（1.6K データ/s）
製品情報
| 項目 | 一体型チルトセンサ（小型Type） |
| 型式 | ST-3100 |
| 測定対象物 | 光学平面（反射率80%以上） |
| ワーキングディスタンス | 0～200mm |
| 測定範囲 | ±54分※1 |
| Repeatability※2 | 0.025分 |
| Linearity※3 | ±0.15% of F.S. |
| 光源 | 660±10nm |
| ビーム径 | φ1mm※4 |
| 出力更新レート | 1,600回/秒 |
| 外形寸法（突起部除く） | W65 D75 H34mm |
※1. 円形範囲
※2. 弊社標準サンプルを静止状態で測定した16回平均のばらつきの幅（6σ）
※3. 弊社標準サンプルをW.D.140mm に設置しての測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。
※4. センサ射出直後での径（1/e²幅）
製品資料
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