オートコリメータ

一体型チルトセンサ(広角Type)

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一体型チルトセンサ(広角Type)

開発の背景
測定範囲±1度を大きく超える広角度の傾斜を測定する測定器ができないか?そんなお客様のご要望から開発した超広角チルトセンサ。この製品をセンサヘッドとプロセッサユニットを一体化。装置組み込みを簡単にして、使いやすい製品を開発いたしました。

特長
1. センサとプロセッサ、一体型
2. 傾斜測定範囲±5度、高速測定(1.6K データ/s)
3. 装置や治具組み込みが可能

製品情報

項目 一体型チルトセンサ(広角Type)
型式 ST-3200
測定対象物 光学平面(反射率80%以上推奨)
ワーキングディスタンス※1 65±1mm
測定範囲 ±5度※2
Repeatability※3 0.15分
Linearity※4 ±1.5% of F.S.
光源 658±10nm
ビーム径 φ1mm
出力更新レート 1,600回/秒
外形寸法(突起部除く) W150 D180 H56mm

※1.センサ端に20mmの鏡筒が設置されている為、鏡筒端からのワーキングディスタンスは45±1mmとなります。
※2.円形範囲
※3.弊社標準サンプルをW.D.65mmに設置し、静止状態で測定した値のバラツキの幅6σ。
※4.弊社標準サンプル測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。

製品資料

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