オートコリメータ

超小型チルトセンサ

超小型チルトセンサ

開発の背景
装置に簡単に組み込みが可能な小型なオートコリメータを実現できないか?そんなお客様のご要望から開発いたしました。
ご要望の多い測定範囲、ワーキングディスタンスの仕様を基に、センサヘッドを極小サイズに設計しました。センサの制御をシリアル通信で可能にし、今までにない軽量コンパクトな製品を開発いたしました。

特長
1. 世界最小クラス、軽量コンパクト
2. 高感度(反射率0.5%以上測定可能)
3. 付属ソフトで簡単測定(For Windows)

製品情報

項目 超小型チルトセンサ
型式 TM-2070 TM-2090
測定対象物 光学平面(反射率0.5%以上)
ワーキングディスタンス
測定範囲
0~85mm±90分※1
0~110mm ±70分※1 0~110mm ±70分※1
0~170mm ±45分※1 0~170mm ±45分※1
0~250mm ±30分※1 0~250mm ±30分※1
Repeatability※2 1秒 1.3秒
Linearity※3 ±0.25% of F.S.(±0.35分相当) ±0.25% of F.S.(±0.45分相当)
光源 650±10nm
ビーム径 φ1mm※4 φ0.5mm※5 φ1mm※4
出力更新レート 60回/秒
外形寸法(突起部除く) W38 D42 H18mm

※1. 円形範囲
※2. 弊社標準サンプルをW.D.50mmに設置し、静止状態で測定時の6σ。カメラ輝度(PK)180の時。
※3. 弊社標準サンプルをW.D.50mmに設置しての測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。
※4. センサ射出直後での径(1/e²幅)
※5. W.D.50mmでの径(1/e²幅)。センサヘッドの型式がTM-2070-C001となります(外観はTM-2070と同様)

製品資料

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