開発の背景
測定範囲±1度を大きく超える広角度の傾斜を測定できないか？そんなお客様のご要望から開発いたしました。
従来の広角度の測定は、3台の変位計を使用し、3点の高さを測定した上で角度換算する必要がありました。しかしこの方法では、3台の変位計とその設置スペース、対象物にある程度の大きさが必要であり、小さな対象物は測定できませんでした。当社はオートコリメータ法を用いた製品でこの問題を解決いたしました。
特長
1. 超広角測定範囲
2. 高速測定（10K サンプリング）
3. アナログ（±5V）測定データ出力
製品情報
| 項目 | 超広角チルトセンサ | ||
| 型式 | WT-7300 | WT-2600 | WT-2910 |
| 測定対象物 | 光学平面（反射率80%以上推奨） | ||
| ワーキングディスタンス | 65±1mm※1 | 48±4mm | 25±2mm |
| 測定範囲 | ±5度※2 | ±10度※2 | ±15度※2 |
| Repeatability | 0.2分※3 | 0.4分※4 | 0.4分※5 |
| Linearity※6 | ±1.5% of F.S.（±9分相当） | ±3% of F.S.（±36分相当） | ±2.5% of F.S.（±45分相当） |
| 光源・1 波長 / ビーム径 |
658±10nm / φ1.5mm | 660±10nm / φ1mm | |
| 光源・２ 波長 / ビーム径 |
658±10nm / φ0.1mm | – | |
| サンプリング | 10,000回/秒 | ||
| 外形寸法（突起部除く） | W150 D180 H56mm | W160 D230 H60mm | |
※1. センサ端に20mmの鏡筒が設置されている為、鏡筒端からのワーキングディスタンスは45±1mmとなります。
※2. 円形範囲
※3. 弊社標準サンプルを65mm位置に設置して測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 AD ボードで25kSで1秒間取込後3000Hz(-3dB)のバタワースローパスフィルタを通した3σの値。
※4. 弊社標準サンプルを48mm位置に設置して測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 AD ボードで25kSで1秒間取込後3000Hz(-3dB)のバタワースローパスフィルタを通した3σの値。
※5. 弊社標準サンプルを25mm位置に設置し、原点付近にて測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 AD ボードで25kSで1秒間取込後3000Hz(-3dB)のバタワースローパスフィルタを通した3σの値。
※6. 弊社標準サンプルをW.D.に設置しての測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。
製品資料
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